日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器 AP160M 特點介紹

AP160M是與半導(dǎo)體制造工藝等中使用的氣體兼容的控制器，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道內(nèi)的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。

最大控制壓力約為650kPa，最大控制流量為100kPa壓差，噴射量有500cc/min和3000cc/min兩種。AP160M型號通過脈沖寬度調(diào)制控制比例電磁閥，提高了響應(yīng)性并消除了遲滯，因此在約1秒內(nèi)達到設(shè)定壓力。

壓力接頭相當(dāng)于1/4" VCR，所有氣體接觸部件和壓力傳感器均由金屬制成，使其兼容所有氣體，包括半導(dǎo)體工藝氣體，以及惰性氣體、腐蝕性氣體和危險氣體是有可能的。

日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器 AP160M 規(guī)格參數(shù)

壓力設(shè)置 需要從計算機等輸入壓力設(shè)定值。 

控制方式 比例電磁閥紙漿控制批發(fā)商 

控制壓力 0～500kPa 

最大流量 壓差100kPa時有500cc/min和3000cc/min兩種 

響應(yīng)時間 1秒達到設(shè)定值 

輸入信號 0 5VDC 持續(xù)/關(guān)閉 

R485 

外部傳感器輸入 （4個20A可能） 

輸出信號 報警輸出 RS485.0~5VDC 

配件 1/4〃VCR同等產(chǎn)品 

閥座泄漏 10-6Pa·m3/秒以下 

準(zhǔn)確性 ±5kPa（800kPaFS 時） 

電源電壓 24VDC±10% 

目前的消費 最大 200mA