日本kk-ace氣壓計控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特點介紹

該裝置是防止單晶圓清洗設備的主排氣管道中的壓力波動導致制造過程波動的裝置。我們開發(fā)的氣動橡膠膨脹閥可實現(xiàn)高速壓力控制，尺寸小，壓力損失極低。

通過適當控制排氣壓力，還可以適當管理排氣流量，從而可以通過管理排氣管道的總流量和壓力來顯著降低能源成本。

主要用途

? 單晶圓清洗設備的腔室壓力控制

? 潔凈通風室和潔凈卡車的室壓控制

? 受排氣管壓力波動影響的設備和工藝

? 液晶顯示風刀罐排氣壓力控制

? 潔凈室排氣壓力控制

日本kk-ace氣壓計控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 規(guī)格參數(shù)

壓力損失 15 Nm3/min 時 50Pa（空氣） 10 Nm3/min 時20Pa以下（空氣） 10 Nm3/min 時20Pa以下（空氣） 

控制閥連接 200A 管道輸出 150A 管道輸出 100A配管 

調(diào)節(jié)壓力范圍（一次側壓力） -50至-999Pa（取決于與大氣壓力和二次壓力的壓差） 

二次壓力（閥門下游壓力） (控制壓力-50)Pa以下 

如果壓差小于該值，則初次調(diào)節(jié)范圍會變窄。 

壓力精度 ±2%滿量程  

控制紋波（穩(wěn)定控制時的變化） ±1%滿量程（二次側壓力波動±10Pa以內(nèi)） 

耐壓（一次側壓力） 50kPa以內(nèi)（與大氣壓的壓差） 

反應能力 2 秒內(nèi)完成 98% 的設置（典型） 

流體溫度 10～50℃ 

主機環(huán)境溫度（精度保證溫度） 15-35℃ 

電源電壓 24V直流±10% 

外部輸出 壓力信號：1至5V DC 

報警：NPN晶體管集電極開路 DC 30V<100mA