日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 特點介紹

L61系列是針對高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體而設(shè)計的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結(jié)構(gòu)保證了小行程下的大流量。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標準流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 規(guī)格參數(shù)

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.8MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.0006MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側(cè)） 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 32.3cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約4.7公斤 

1/4"面對面密封接頭尺寸

（公母相同）………………………………約126mm

3/8"/1/2"面對面密封接頭尺寸

（公母相同）………………………………約152mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內(nèi)螺紋）組合由下式確定。您可以從表中所示的產(chǎn)品編號中進行選擇。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。