PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-COL61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產(chǎn)氣體而設(shè)計的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結(jié)構(gòu)保證了小行程下的大流量。
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日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 特點介紹
L61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產(chǎn)氣體而設(shè)計的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結(jié)構(gòu)保證了小行程下的大流量。
功能高壓
焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標準流量100~500NL/分鐘
日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 規(guī)格參數(shù)
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.8MPa
(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa)
氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.0006MPa
承受壓力 22.2MPa(進口側(cè))
CV值 0.07
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積 32.3cm(不含3個壓力表及接頭)
大量的 約4.7公斤
1/4"面對面密封接頭尺寸
(公母相同)………………………………約126mm
3/8"/1/2"面對面密封接頭尺寸
(公母相同)………………………………約152mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合由下式確定。您可以從表中所示的產(chǎn)品編號中進行選擇。
■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。
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