PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會(huì)從入口側(cè)(一次側(cè))流動(dòng)。
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日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH 特點(diǎn)介紹
高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。
SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會(huì)從入口側(cè)(一次側(cè))流動(dòng)。
可作為經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣認(rèn)證品生產(chǎn)。在高壓氣體設(shè)備中使用時(shí),請(qǐng)選擇合格品。
也可制作流動(dòng)方向體、左側(cè)入口(左高壓)型。
日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH 規(guī)格參數(shù)
SR-2HH
SRQ-1HH
一次側(cè)壓力(MPa)
2~20
4~20
二次側(cè)使用壓力(MPa)
1~15
3~15
使用溫度(度C)
-10~40(股計(jì)溫度:-10~7攝氏度)
3/8
1/4
外部記錄量(Pam2/sec)
螺紋接頭:1.01x10-以下焊接頭:1.02x10-以下
接氣主
本體
SUS316
SUS316L
要部材質(zhì)
材貿(mào)記號(hào)
隔膜
SUS316
哈斯特洛伊
脫身
弁材
PEEK
PEEK
476
其他
SUS316.SUS304.PTFE
SUS316L.SUS316.PTFE
過(guò)濾器粗糙度
40μm
40μm
質(zhì)
量
(km)
4.3
1.3
標(biāo)準(zhǔn)流量
2/mininorNe)
1200(P=20MPa,P2=15MPa)。
160(P=15MPa,Pe=12MPa)
最大流量
/min(ar.N)
1600(P1=20MPa,Pz=15MPa)。
200(P=15MPa,Pz=12MPa)。
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002