PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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產(chǎn)品展示/ Product display
日本e-yamato減壓閥分析儀半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器 ER-1LL可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。半導(dǎo)體·太陽電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。制造時(shí),高維度清潔度高気密性·為了滿足高可靠性,“克林魯一"實(shí)施內(nèi)組裝、高性能清洗、全數(shù)電阻測(cè)試。He檢定采用SEMI FO1方法進(jìn)行,符合標(biāo)準(zhǔn)。
聯(lián)系電話:13823182047
日本e-yamato減壓閥分析儀半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器 ER-1LL 特點(diǎn)介紹
可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。
半導(dǎo)體·太陽電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。
制造時(shí),高維度清潔度高気密性·為了滿足高可靠性,“克林魯一"
實(shí)施內(nèi)組裝、高性能清洗、全數(shù)電阻測(cè)試。
He檢定采用SEMI FO1方法進(jìn)行,符合標(biāo)準(zhǔn)。
日本e-yamato減壓閥分析儀半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器 ER-1LL 規(guī)格參數(shù)
ER-1LL
一次傭壓力(MPa)
1~5
二次側(cè)使用壓力(MPa)
0.1~0.99
使用溫度(度C)
-5~40(設(shè)計(jì)溫度:-10~7攝氏度)1/4
外部響應(yīng)量(Pam/sec)
螺紋接頭:1.3x10以下焊接頭:1.3X10-以下
相立環(huán)境
螺紋接頭:10000級(jí)焊接頭:1000級(jí)
純水洗凈接主本體
SUS316L
要部材質(zhì)
材貿(mào)記號(hào)
分離片
SUS316L
諾科脫明
井材氟樹脂
是P476其他
SUS316.氟樹脂
內(nèi)置過濾器一概過多20μm
重(kg)1.1
標(biāo)準(zhǔn)流量8/min(nor)
250(P=1MPa.Pe=0.6MPa)
最大流量/分鐘(nor)
300(P,=1MPa.P。=0.6MPa)
可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。
半導(dǎo)體·太陽電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。
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