日本mirapro復(fù)合真空計Tough發(fā)射器型LED屏 TG301CD 特點介紹

真空計可以通過放置在被測物體內(nèi)部進(jìn)行精確測量，但根據(jù)污染源的不同，測量精度可能會下降，從而導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)誤差。影響正確的判斷和控制。

污染源是從測量對象物發(fā)出的物質(zhì)以及從用于控制和測量的傳感器和配線發(fā)出的氣體，并且由于這種污染而附著在真空計上，導(dǎo)致精度下降。

在塑料表面進(jìn)行氣相沉積時，由于增塑劑的蒸發(fā)等，會發(fā)生污染。真空設(shè)備內(nèi)部的配線、電機(jī)、密封材料等產(chǎn)生有機(jī)污染氣體而造成的污染。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，有機(jī)金屬原料氣體和抗蝕劑殘留，成為污染源。

這些污染物會導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。

由柵極污染引起的問題包括由于發(fā)射功率增加而導(dǎo)致的靈敏度降低、發(fā)射停止和燈絲斷裂。

日本mirapro復(fù)合真空計Tough發(fā)射器型LED屏 TG301CD 規(guī)格參數(shù)

復(fù)合真空計硬度計是組合BA電離真空計和皮拉尼真空計的復(fù)合型真空計。通過1根自動切換從大氣到超高真空的寬范圍的同時進(jìn)行測量。皮拉尼真空計內(nèi)置溫度計，進(jìn)行溫度修正，減少因溫度變化引起的誤差。此外，皮拉尼真空計使用耐腐蝕性材料，在高真空下，BA電離真空計在加熱柵格及集電極的同時以硬模式工作，因此即使在污染環(huán)境下也不易發(fā)生靈敏度降低，可長時間高精度地進(jìn)行測量。