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日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器

日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器

通過將鈦升華泵和三極管離子泵(貴族泵)組合在一起,組合泵利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力,并以低廉的價(jià)格獲得高抽速。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-10
  • 訪  問  量:212
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詳細(xì)介紹

日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 特點(diǎn)介紹


通過將鈦升華泵和三極管離子泵(貴族泵)組合在一起,組合泵利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力,并以低廉的價(jià)格獲得高抽速。

抽速大

每抽速1L/s的價(jià)格(包括控制裝置的價(jià)格)約為離子泵的1/2至1/3。

與相同抽速的離子泵相比,輕便緊湊

,體積和重量僅為1/5至1/10。因此,它可以很容易地安裝和從排氣系統(tǒng)中拆卸,并且可以在很小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。

氣相沉積設(shè)備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空爐、各種分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備、排氣設(shè)備以及其他釋放大量氣體的超高真空系統(tǒng)。


日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 規(guī)格參數(shù)


排氣速度/排氣流量參考圖1 

工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤溫度最高250℃ 

大量的約15公斤 

進(jìn)氣法蘭φ152ICF法蘭 

內(nèi)容積4.5升 

適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 

排氣速度/排氣流量見圖2 

工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤溫度最高250℃ 

大量的約25公斤 

進(jìn)氣法蘭φ203ICF法蘭 

內(nèi)容積約7.5升 

適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 


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