日本tem-tech真空絕對壓力檢測傳感器耐腐蝕 SE1000 特點介紹

絕對壓力傳感器

非常適合真空容器和供氣管線中的負(fù)載鎖定

用于真空壓力監(jiān)測的絕對壓力傳感器

絕壓：0-760、1000torr

電流/電壓輸出、VCR/UJR等豐富選擇

氣體接觸部分：SUS316L

用于真空容器和供氣管線的負(fù)載鎖

?適合真空容器和氣體供給管路中真空壓力監(jiān)視

?額定壓力0~1000torr

?小型絕對壓力傳感器

日本tem-tech真空絕對壓力檢測傳感器耐腐蝕 SE1000 規(guī)格參數(shù)

?也可制作顯示一體型

?隔膜是耐腐蝕性高的SUS316

?可使用各種接頭制作

?可在半導(dǎo)體制造工序中使用

?標(biāo)準(zhǔn)傳輸信號也可輸出國際標(biāo)準(zhǔn)的2線式4-20mA*電壓

測量流體絕對壓力測量、半導(dǎo)體工藝氣體接觸氣體部材質(zhì)隔膜:SUS316傳感器本體:SUS316L測量范圍0—1000Torr、（0—200kPaA）其他的容許極限壓力額定壓力的2倍電源電壓DC24V±10%DC15~24V輸出信號4～20mADC（2線式）0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3線式）綜合精度±0.5%FS（直線性、歇斯底里包括再現(xiàn)性）溫度補(bǔ)償范圍0~60°C（無結(jié)冰、結(jié)露）動作溫度范圍0~80°C（無結(jié)冰、結(jié)露）溫度特性±0.05%FS/°C（溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)）相當(dāng)于IP55保護(hù)等級※室內(nèi)規(guī)格安裝螺絲VCR，UJR（請咨詢其他）螺絲尺寸1/4"、3/8"、1/2"