日本hamai潔凈規(guī)格不銹鋼隔膜閥精密拋光 FSC-55LN 特點介紹

標(biāo)準(zhǔn)FS-55LN型號高純氣體隔膜閥，具有高清潔度和清潔規(guī)格。

結(jié)構(gòu)采用經(jīng)過驗證的55L型，閥體與氣體接觸部分經(jīng)過內(nèi)部精密拋光（1S以下）。通過對包括 kerep 在內(nèi)的所有氣體接觸部件使用拋光部件，我們實現(xiàn)了無顆粒操作。

最后的清洗是在潔凈室中使用超純水進行的，從組裝到檢查的所有過程均按照基于高壓氣體安全法（部分氣體除外）的嚴格制造標(biāo)準(zhǔn)進行。

日本hamai潔凈規(guī)格不銹鋼隔膜閥精密拋光 FSC-55LN 規(guī)格參數(shù)

?作為高純度氣體（半導(dǎo)體特殊材料氣體）在很多情況下使用的FS-55LN的高凈化、潔凈規(guī)格型號。

-本體采用SUS316L不銹鋼材料。

?閥體的氣體接觸部分進行精密的內(nèi)部研磨（1S以下）。

?所有與氣體接觸的金屬材料均采用 Kelep 等拋光材料制成，以確保無顆粒性能。

- 手柄打開/關(guān)閉操作輕便、平穩(wěn)。容器內(nèi)壓14.7MPa，可通過手動操作關(guān)閉。

?壓縮氣體閥的參考Cv值為0.3。

- 從磷化氫、砷化氫等特殊原料氣體到高純度氦氣、高純度氯氣、氨氣等液化氣體，我們都能處理。

?使用氦檢漏儀測量所有泄漏（內(nèi)部泄漏、外部泄漏）。

- 壓蓋部分配備防止振動導(dǎo)致松動的機構(gòu)。

?還有可在加油口內(nèi)安裝節(jié)流孔的類型。