PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ceramic forum半導(dǎo)體分析裝置測量結(jié)晶 HERA FT1230DLTS方法是一款高感度測量結(jié)晶缺陷導(dǎo)致的電子狀態(tài)的良好方法。即便是內(nèi)在微小的雜質(zhì)或格子缺陷也會很大程度上影響半導(dǎo)體材料性能,所以此類測量非常重要。
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日本ceramic forum半導(dǎo)體分析裝置測量結(jié)晶 HERA FT1230 特點介紹
DLTS方法是一款高感度測量結(jié)晶缺陷導(dǎo)致的電子狀態(tài)的良好方法。
即便是內(nèi)在微小的雜質(zhì)或格子缺陷也會很大程度上影響半導(dǎo)體材料性能,所以此類測量非常重要。
DLTS方法是一種通過將深準(zhǔn)位捕獲的carrier(比如電子)釋放于Band帶上后,顯示其與試料結(jié)合容量的過度變化的一種手法,
從而可以得知深準(zhǔn)位的參數(shù)(能量級別、捕獲斷面積)、濃度值、空間分布等信息。
日本ceramic forum半導(dǎo)體分析裝置測量結(jié)晶 HERA FT1230 規(guī)格參數(shù)
HERA-DLTS
基本DLTS測量
數(shù)碼DLTS測量
Laplace DLTS測量 包含以上3中模式
可測量范圍
C/V, I/V, C(t) 測量
C/V, I/V, 特性實施
參雜濃度
勢壘高度Barrier height
肖特基的理想系數(shù)
氧化膜厚度計算
DLTS測量可選項
傅里葉(Fourier)轉(zhuǎn)換
Laplace轉(zhuǎn)換
多指數(shù)函數(shù)過度FIT
ITS(等溫過度頻譜)信號再折疊
Tempscan信號再折疊
發(fā)源于德國Kassel工科大學(xué)的DLTS測量裝置專業(yè)廠家。成功開發(fā)出目前在流通的DLTS系統(tǒng)中一款數(shù)碼對應(yīng)設(shè)備,同時也是世界普及DLTS系統(tǒng)DL-8000的研發(fā)廠家(經(jīng)銷商BIO-RAD)。2016年推出的FT-1230與其他競爭對手的產(chǎn)品相比,擁有更多的測量模式,可對應(yīng)任何材料及研發(fā)人員的需求,屬于一款的擴展性好的系統(tǒng)。
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