PRODUCT CLASSIFICATION
產品分類美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型壓力 無論您的目的是自動化、過程控制還是安全,您的測量都必須干凈、準確且可靠。為了滿足半導體行業(yè)的需求,Entegris 將最新的電子傳感器技術與高度清潔的材料相結合,生產出能夠對工藝變化進行高度控制的先進產品。
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美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 特點介紹
4210型
壓力 無論您的目的是自動化、過程控制還是安全,您的測量都必須干凈、準確且可靠。為了滿足半導體行業(yè)的需求,
Entegris 將最新的電子傳感器技術與高度清潔的材料相結合,生產出能夠對工藝變化進行高度控制的先進產品。
在高純度應用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力
所有裝置在發(fā)貨前均經過功能測試,精度為滿量程的 1%
沒有活動部件,也沒有填充液,因此不會受到污染
4210 型采用流通式設計,可減少死體積并降低污染風險
接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®,適用于高純度應用
行業(yè)標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設計并且易于安裝。
4250型
NT™ 壓力傳感器配有耐化學腐蝕的藍寶石傳感器,可測量負壓和正壓。
該傳感器沒有填充液或隔膜,在其他非金屬傳感器無法處理的情況下具有高度可靠性,精度為滿量程的 1%。
氫氟酸和負壓應用
使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器高精度、可靠地測量壓力
監(jiān)控過程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能
發(fā)貨前經過 100% 性能測試,精度為滿量程的 1%
易于連接到電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)
無活動部件,無填充液,因此無污染
流通式設計最大限度地減少死體積并降低污染風險
美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 規(guī)格參數(shù)
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002