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日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備高精度

日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A

這是盒式到盒式自動(dòng)晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時(shí)間為 10 秒,節(jié)拍時(shí)間為 30 秒,實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。機(jī)器人從25片晶圓存儲(chǔ)盒中一張一張取出晶圓,進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、檢查,然后將其存儲(chǔ)在晶圓盒中。易于操作。
可以自動(dòng)檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。
我們?cè)诿繌?30 秒內(nèi)(包括運(yùn)輸時(shí)間)進(jìn)行高速檢查。

  • 產(chǎn)品型號(hào):WEIM-6800A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2025-05-06
  • 訪  問(wèn)  量:580
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詳細(xì)介紹

日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 特點(diǎn)介紹


這是盒式到盒式自動(dòng)晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時(shí)間為 10 秒,節(jié)拍時(shí)間為 30 秒,實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。

機(jī)器人從25片晶圓存儲(chǔ)盒中一張一張取出晶圓,進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、檢查,然后將其存儲(chǔ)在晶圓盒中。易于操作。

 可以自動(dòng)檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。

 我們?cè)诿繌?30 秒內(nèi)(包括運(yùn)輸時(shí)間)進(jìn)行高速檢查。

這是一款增加了新功能、更容易使用的高精度檢查機(jī)。

 緊湊且省電的設(shè)計(jì)。交流100V8A

 外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg

只需放置好晶圓盒并按下操作按鈕,機(jī)器人就會(huì)將晶圓一張一張取出并輸送至檢測(cè)站。圖像對(duì)準(zhǔn)后,晶圓的外邊緣和三個(gè)頂面和底面同時(shí)被拍照并檢查是否有劃痕、異物、裂紋和缺口等缺陷,然后返回到晶圓盒中。

通過(guò)吸附在晶圓背面進(jìn)行檢查,相機(jī)識(shí)別凹口/定向平面并對(duì)其進(jìn)行最佳控制。


日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 規(guī)格參數(shù)


?特點(diǎn)?

1. 可以同時(shí)進(jìn)行三個(gè)邊緣成像、整個(gè)晶圓周邊成像以及缺陷檢查。

2. 三光學(xué)系統(tǒng)允許使用一臺(tái)線相機(jī)檢查三個(gè)表面。

3. 集成照明為邊緣檢查創(chuàng)造了理想的照明。

4. 可以進(jìn)行包括定向平面/缺口在內(nèi)的外觀檢查。(僅檢查凹口的斜面。)

5. 高性能,測(cè)量分辨率為10μm,檢測(cè)缺陷尺寸為20μm,通過(guò)/失敗判斷缺陷為50μm。


?功能?

1. 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu):利用圖像自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)晶圓中心和檢查中心。

2. 三面獨(dú)立設(shè)置:可進(jìn)行檢驗(yàn)條件配方和照明設(shè)置。

3. 復(fù)檢功能:可對(duì)判定為NG的晶圓進(jìn)行目視復(fù)檢。

4. 顯示更改功能:通過(guò)放大和反轉(zhuǎn)功能,現(xiàn)在可以更輕松地查看原始圖像。

5. 大的污垢和標(biāo)記可以與缺陷分開(kāi)。



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