PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭:ICF070 1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵(單電池)2.用于排出殘留的氮氣和甲烷的泵3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計4.僅密封NEG即可達(dá)到的真空為10-8Pa,通過追加本機可達(dá)到10-10Pa臺可到達(dá)5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動放電(帶啟動按鈕)6.NEG泵激活時可動作7.SUS制、BeCu合金制
聯(lián)系電話:13823182047
日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭:ICF070 特點介紹
1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵(單電池)
2.用于排出殘留的氮氣和甲烷的泵
3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計
4.僅密封NEG即可達(dá)到的真空為10-8Pa,通過追加本機可達(dá)到10-10Pa臺可到達(dá)
5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動放電(帶啟動按鈕)
6.NEG泵激活時可動作
7.SUS制、BeCu合金制
日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭:ICF070 規(guī)格參數(shù)
形式:IM P&G電極:圓筒陰極(Ta),螺旋陽極(W)排氣速度:1L/s(Ar),4L/s(CH4)適用NEG泵:50~2000L(H2)/s真空測量范圍:10-10Pa~10-3Pa泵殼體:SUS316L或0.2%BeCu釹磁鐵:4kG,烘烤溫度(80°C)薩馬科瓦磁鐵:3.8kG,烘烤溫度(280°C)電子沖擊加熱功率:1000V×100mA施加電壓:5kV,100μA安裝法蘭:ICF070(Cu襯墊)頭重量:2.8kg
■倒置磁控管型NEG輔助泵IMP&G是一種離子泵,當(dāng)NEG泵抽真空至超高/超高真空時,可排出剩余的氬氣和甲烷。也可用作高精度冷陰極型真空計,可測量高達(dá) 1×10 -10 Pa的壓力。
■我們成功地為倒置磁控管型冷陰極真空計增加了排氣功能。傳統(tǒng)的倒磁控管型冷陰極真空計幾乎沒有抽真空作用,并且從未有過將倒磁控管型單元用作離子泵的泵單元的例子。之所以沒有排氣效應(yīng),是因為組成陰極的電極表面是氧化層。我們通過在真空中將陰極(Ta)加熱到1000℃以上,成功地產(chǎn)生了排氣效果。通過加熱,電極表面的氧化物被去除,稀有氣體離子通過捕獲(捕獲)被排出,這是在構(gòu)成陰極的金屬之間捕獲離子的作用。
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002