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您的位置：首頁(yè) / 產(chǎn)品展示 / 實(shí)驗(yàn)設(shè)備 / 研磨機(jī) / RAD-3520F/12Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī)
Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12擴(kuò)充暢銷(xiāo)機(jī)型“RAD-3510F/12"的功能，實(shí)現(xiàn)高性能、省空間化。1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供3. 設(shè)備占地面積約縮小30%4. 可實(shí)現(xiàn)70片/小時(shí)的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時(shí)，可實(shí)現(xiàn)最大100片/小時(shí)的生產(chǎn)能力
產(chǎn)品型號(hào)：RAD-3520F/12廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-06-27訪 問(wèn) 量：198
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Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12 特點(diǎn)介紹
擴(kuò)充暢銷(xiāo)機(jī)型“RAD-3510F/12"的功能，實(shí)現(xiàn)高性能、省空間化。
1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口
2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供
3. 設(shè)備占地面積約縮小30%
4. 可實(shí)現(xiàn)70片/小時(shí)的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時(shí)，可實(shí)現(xiàn)最大100片/小時(shí)的生產(chǎn)能力
5. 每卷膠帶的晶圓貼膜數(shù)量最多可提高16％※膠帶長(zhǎng)度為100m/卷，晶圓尺寸為300mm（12英寸）直徑時(shí)
6. 可搭載多種選配功能 ESD措施、各種清潔功能、自動(dòng)換刀等
Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12 規(guī)格參數(shù)
A．晶圓裝載、掃片、取片
通過(guò)掃描檢測(cè)晶圓盒內(nèi)的晶圓。根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果，由多軸機(jī)械臂取片，并運(yùn)輸至校準(zhǔn)單元。
B．晶圓校準(zhǔn)
晶圓以V形缺口或平邊為基準(zhǔn)，以非接觸方式對(duì)晶圓的圓心進(jìn)行校準(zhǔn)后，運(yùn)輸至貼膜臺(tái)。
C．研磨用表面保護(hù)膠帶貼合
利用roll-to-roll方法，使用壓輥進(jìn)行研磨用表面保護(hù)膠帶貼合。利用最新的TTC機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)低張力貼合。
D．膠帶切割
通過(guò)3D運(yùn)動(dòng)控制(x、y、θ)，沿晶圓外周進(jìn)行膠帶切割。
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