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產(chǎn)品展示/ Product display

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Napson手持式電阻測試儀用于半導體處理膜等

Napson手持式電阻測試儀用于半導體處理膜等 EC-80P

只需簡單接觸筆型探針即可進行測量
可在任意位置進行測量,不會損壞樣品

  • 產(chǎn)品型號:EC-80P
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-12
  • 訪  問  量:226
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細介紹

Napson手持式電阻測試儀用于半導體處理膜等 EC-80P 特點介紹


只需簡單接觸筆型探針即可進行測量

可在任意位置進行測量,不會損壞樣品

易于操作的手持探針

通過切換測量模式,調整片材電阻和電阻率

可顯示在

通過JOG撥盤輕松設定測量條件

電阻測量探頭按范圍排列

寬敞,支持廣泛的范圍

(電阻探針:最多2根+PN判定探針

同時接続可能)

探頭2~第三條是可選的。

測量光斑直徑(探針芯直徑):

14mmΦ


Napson手持式電阻測試儀用于半導體處理膜等 EC-80P 規(guī)格參數(shù)


芯片樣品;

硅載體、化合物(GaN、GaP)、Epi、

擴散層、SiC等

各種薄膜樣品;

半導體處理膜、金屬膜、ITO膜等

其他

*原則上,如果在測量范圍內,則為

也可以用樣品進行測量。

[電阻率] 1m 至200Ω.cm

(*所有探頭類型的總范圍/厚度500um)

[表面電阻] 10m 至3k2/sq

(*所有探頭類型的總范圍)

*有關每種探頭類型的測量范圍,請參見下文。

(1)低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω.cm)

(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω.cm)

(3)高:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω).cm)

(4) S-高:1,000-3,0002/□(60-200Ω.m)

(5)太陽能晶圓:5-500Ω2/□(0.2-15Ω.cm)

產(chǎn)品尺寸

·機身:W255xD275xH95mm,4kg

·探頭部分:20mmΦx80mm






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