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美國TESCOM超高流量高純度氣體減壓調(diào)節(jié)器 15系列TESCOM 15 系列專為超高流量應用而設(shè)計,流量高達 28,300 SLPM。15 系列是超高純度、10 Ra 的散裝氣體減壓調(diào)節(jié)器。進口壓力為 300 psi/20.7 bar,出口壓力高達 150 psi/10.3 bar。可提供電子控制選項。
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美國TESCOM超高流量高純度氣體減壓調(diào)節(jié)器 15系列 特點介紹
TESCOM 15 系列專為超高流量應用而設(shè)計,流量高達 28,300 SLPM。15 系列是超高純度、10 Ra 的散裝氣體減壓調(diào)節(jié)器。
進口壓力為 300 psi/20.7 bar,出口壓力高達 150 psi/10.3 bar。可提供電子控制選項。
最大進口壓力300磅/平方英寸/20.7巴出口壓力范圍130和150磅/平方英寸9.0和10.3巴設(shè)計證明壓力150%
最大額定值認證最大內(nèi)置泄漏率膜片:1 x 10-9 atm cc/sec He Seat:1 x 1 0-6 atm cc/sec H e Operating Temperature-20°F to 150°F / -29°C to 65°C
流量能力膜片:Cv = 8.0波紋管:Cv = 14.0
美國TESCOM超高流量高純度氣體減壓調(diào)節(jié)器 15系列 規(guī)格參數(shù)
· 膜片感測元件可保持非常精確的下游壓力· 10 Ra微英寸內(nèi)表面光潔度,采用全內(nèi)電解拋光
· 316L不銹鋼棒料結(jié)構(gòu)
· 提供兩種加載選擇:彈簧/扳手調(diào)節(jié)和氣動
· 提供兩種感測選擇:膜片和波紋管(波紋管感測元件的流量感測能力超過1200 SCFM/33,960 SLPM)
· 與ER3000電子控制器兼容
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002