日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 特點介紹

1、機械損耗低、機械滯后低

2.可制造長行程產(chǎn)品。

3、維護方便

4、結(jié)構(gòu)簡單，不存在常規(guī)產(chǎn)品因卡膠而發(fā)生故障的現(xiàn)象。

　　 氣缸滑動部位通過小泄漏氣膜進行潤滑，滑動阻力低，磨損極小。

5. 微壓操作

6、壽命長

7、操作油缸部分采用CFRP（增強碳纖維管）制成，重量輕。

8. 抗不平衡負載能力

9. 氣缸桿可承受高負載（直線導(dǎo)軌）

10. 活塞部分使用滾珠襯套與線性導(dǎo)軌集成在一起

日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 規(guī)格參數(shù)

測定対象物

シリコン基板

厚み測定範囲

10~500 (n=3.5のとき)

μm

測定光源

波長可變光源(1515~1585)

nm

光出力バフ一

0.6、クラス1

mW

ガイド用光源

赤色LD、 クラス1M

計測時間

最小20

ms

測定再現(xiàn)性

0.1以下 (3σにおいて)

μm

モ二タ出力

干涉出力信號

PO インタ一フエ一ス

Ethernet

電源電莊

AC 100-240(50/60 Hz)V

外観寸法(WxHxD)

364x 147x391mm

重量

9kg

工作溫度和濕度 20℃～25℃ 50%RH以下

可制造型號 懸臂式單作用，帶雙滾珠襯套

最小驅(qū)動壓力 200pa（低摩擦規(guī)格） φ40用

漏氣量 90L/min以下（0.4Mpa時） φ40×200ST用（低摩擦規(guī)格）

滯后現(xiàn)象 平均0.6N φ40×200ST

位置負載能力 φ40×200ST 3430N（最大動載荷）