PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVHL18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器,專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外,作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品,流量特性也得到了極大的改善。主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。
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日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 特點(diǎn)介紹
L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器,專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外,作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品,流量特性也得到了極大的改善。
主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。
排放流量大約是之前產(chǎn)品 L18 系列的兩倍(相同的面對面尺寸)
隔膜外密封采用金屬密封。
日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 規(guī)格參數(shù)
適用氣體 高純氣體
入口壓力 0.99MPa以下
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.7MPa
(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.7MPa)
承受壓力 1.5MPa(入口側(cè))
CV值 0.1
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
大量的 約0.36公斤
安裝方法 使用后部螺釘安裝
類型L18高速鋼L18HSHL18HSVL18HVHL18HSH-CL2
氣體接觸部分
主體SUS316L SUS316真空雙熔材質(zhì) SUS316L
隔膜哈氏合金® C-22
閥座PCTFE(Daiflon®) 氟樹脂
調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®
C-22 SUS316L 哈氏合金® C-22
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002