PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-COL20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?;窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。
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日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點介紹
L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。
日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa)
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa)
氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa
承受壓力 22.2MPa(進口側(cè))
CV值 0.09
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積 4.67cm(不含3個壓力表及接頭)
大量的 約1.29公斤
主體SUS316L
調(diào)節(jié)閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L
隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L
閥座PCTFE(Daiflon®)
緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316
壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316
非氣體接觸部分
閥蓋 (A)不銹鋼316
發(fā)動機罩 (B)黃銅(鍍鎳)
帽SUS304
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002