PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20L81系列是一款專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,具有兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)不易受氣源壓力波動(dòng)的影響,提供穩(wěn)定的壓力和流量,非常適合液化氣絕熱膨脹導(dǎo)致溫降較大的氣體。
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日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 特點(diǎn)介紹
L81系列是一款專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,具有兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)不易受氣源壓力波動(dòng)的影響,提供穩(wěn)定的壓力和流量,非常適合液化氣絕熱膨脹導(dǎo)致溫降較大的氣體。
功能高壓
焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7 種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體
有毒氣體以外的氣體 純
氣體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)流量~60NL/分鐘
日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 規(guī)格參數(shù)
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
(范圍規(guī)格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa)
氣源壓力波動(dòng) 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.000007MPa
承受壓力 22.2MPa(進(jìn)口側(cè))
CV值 0.03
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積 8.9cm(不含3個(gè)壓力表及接頭)
大量的 約2.0公斤
1/4" 面對(duì)面密封接頭尺寸(公母相同)………………………………約 100mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進(jìn)出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合如圖所示。可以從以下所示的產(chǎn)品型號(hào)代碼表中進(jìn)行選擇。
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對(duì)面尺寸可能與標(biāo)準(zhǔn)面對(duì)面尺寸不同。
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