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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設(shè)備L88系列

日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設(shè)備L88系列 L88SS

L88系列是針對半導(dǎo)體制造氣體B2H6而設(shè)計的二級減壓結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施,中間壓力為3MPa,調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封型,采用PCTF調(diào)節(jié)閥座,抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。

  • 產(chǎn)品型號:L88SS
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:136
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詳細介紹

日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設(shè)備L88系列 L88SS 特點介紹


L88系列是針對半導(dǎo)體制造氣體B2H6而設(shè)計的二級減壓結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。

作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施,中間壓力為3MPa,調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封型,采用PCTF調(diào)節(jié)閥座,抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)平密封式散裝氣體兼容氣體7 種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體

有毒氣體以外的氣體 純

氣體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)流量~60NL/分鐘


日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設(shè)備L88系列 L88SS 規(guī)格參數(shù)


源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.00075MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側(cè)) 

CV值 0.08 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 12.58cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約2.4公斤 


1/4" 面對面密封接頭尺寸(公頭)…約 88mm

1/4" 面對面密封接頭尺寸(母頭)…約 105mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合如圖所示??梢詮囊韵滤镜漠a(chǎn)品型號代碼表中進行選擇。

■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標(biāo)準(zhǔn)面對面尺寸不同。

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