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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2L26系列是一款設(shè)計(jì)用于低壓和中壓半導(dǎo)體工藝制造氣體的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為與L25產(chǎn)品相比基本性能有所提高的過(guò)渡產(chǎn)品。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能，使其成為設(shè)備供應(yīng)中使用的閥箱和連接裝置的理想選擇。
產(chǎn)品型號(hào)：L26SS/L26SH/L26SH-CL2廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2025-05-04訪(fǎng) 問(wèn) 量：247
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日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 特點(diǎn)介紹
L26系列是一款設(shè)計(jì)用于低壓和中壓半導(dǎo)體工藝制造氣體的產(chǎn)品。
基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為與L25產(chǎn)品相比基本性能有所提高的過(guò)渡產(chǎn)品。
該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能，使其成為設(shè)備供應(yīng)中使用的閥箱和連接裝置的理想選擇。
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.001MPa
承受壓力 一次側(cè)22.2MPa
CV值 0.21
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積 4.75cm（不含3個(gè)壓力表及接頭）
大量的 1公斤
日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 規(guī)格參數(shù)
類(lèi)型L26SSL26SHL26SH-CL2L26SS-N2OL26SS-COL26SS-NH3
氣體接觸部分
主體SUS316L
調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L
閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L
隔膜哈氏合金® C-22 SUS316L 哈氏合金®C-22
閥座PCTFE（Daiflon®） 特種
氟樹(shù)脂 聚酰亞胺
樹(shù)脂 PCTFE
（Daiflon®） 氨
專(zhuān)用板材
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