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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  過程控制儀器  /  壓力控制器  /  L96SS/L96SH/L96SS-CO日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列

日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列

日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO

L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空可調(diào)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。

  • 產(chǎn)品型號:L96SS/L96SH/L96SS-CO
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:159
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詳細(xì)介紹

日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 特點(diǎn)介紹


L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空可調(diào)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體。

基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。

功能低壓1MPa以下

焊接規(guī)格金屬墊片管件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量~60NL/分鐘


日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 規(guī)格參數(shù)


入口壓力 0.99MPa以下 

調(diào)節(jié)壓力 -0.1MPa~0~0.2MPa 

承受壓力 22.2MPa(進(jìn)口側(cè)) 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 5.739cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約1.6公斤 

1/4"面對面密封接頭尺寸

(公母相同)…………………………約94mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進(jìn)出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合如圖所示??梢詮囊韵滤镜漠a(chǎn)品型號代碼表中進(jìn)行選擇。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標(biāo)準(zhǔn)面對面尺寸不同。


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