日本日酸TANAKA負壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 特點介紹

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標準實施電解研磨，實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

●STVA10系列支持負壓控制，可用于負壓供給低蒸汽壓的液化氣體的氣缸箱。

●從接觸氣體部排除彈簧，降低了顆粒發(fā)生風險。

●采用串聯(lián)隔膜式。

●作為腐蝕性氣體用，準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA負壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 規(guī)格參數(shù)

●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力計:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316LSUS31 6L/鎳鉻鉬合金（STVA10SH）SUS316L SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316L氟樹脂（STVA10SH）C3604ABS樹脂、C36 04