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日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。
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日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 特點介紹
●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。
●通過排除氣體接觸部的螺紋結構,標準實施電解研磨,實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。
●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。
●在一次室的流路內(nèi)置過濾器,減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。
●STVT50系列采用串聯(lián)隔膜式,具有輸送液化氣體的堅固結構。
●從接觸氣體部排除彈簧,降低了顆粒發(fā)生風險。
●通過進行加溫供給,也能夠對應蒸汽壓為1.0MPa以上的氣體。最大使用壓力2.5MPa。
●作為腐蝕性氣體用,準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。
日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 規(guī)格參數(shù)
入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:2.5MPa0.6MPa220L/min(或)(P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2氣體)-5~40°C1.8kg(2端口),2.0kg(3端口)20μm/10μm(STVT50SH)Ra0.25μm(可選:Ra0.1μm)1/4"1.3 10-11Pa m3/sec以下
郵箱:akiyama_zhou@163.com
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