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日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器液化氣體用減壓閥

日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900

●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

  • 產(chǎn)品型號:S-TORRⅤ1900
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:161
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詳細介紹

日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 特點介紹


●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結構,標準實施電解研磨,實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

●STV1900系列是專用的壓力調節(jié)器,專為最難以產(chǎn)生的最佳中間壓力而設計,以防止內(nèi)部泄漏。


日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 規(guī)格參數(shù)


接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSU S316LSUS316L4LSUS316L、SUS316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa0.6MPa30L/min(無)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2GAS)-5~40°C1.2kg(2端口)、1.6kg(3端口)20μmRa0.25μm(可選:Ra0.1μm)1/4"1.3x 10-11Pa m3/sec以下

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