日本日酸TANAKA壓力調(diào)節(jié)器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 特點(diǎn)介紹

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨，實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●STV1900系列是專用的壓力調(diào)節(jié)器，專為最難以產(chǎn)生的最佳中間壓力而設(shè)計，以防止內(nèi)部泄漏。

日本日酸TANAKA壓力調(diào)節(jié)器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 規(guī)格參數(shù)

接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316LSU S316LSUS316L4LSUS316L、SUS316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa0.6MPa30L/min（無）（P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2GAS）-5～40°C1.2kg（2端口）、1.6kg（3端口）20μmRa0.25μm（可選:Ra0.1μm）1/4"1.3x 10-11Pa m3/sec以下