日本technomu高精度非接觸式平面度測量裝置 TFL2100 特點介紹

使用激光位移傳感器，在旋轉(zhuǎn)工件的同時，以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件以2D和3D方式顯示數(shù)據(jù)進行分析。

被測量的物體可以從薄到厚，從輕到重。

日本technomu高精度非接觸式平面度測量裝置 TFL2100 規(guī)格參數(shù)

? 以低成本實現(xiàn)高精度測量 

 ? 快速數(shù)據(jù)采集 

 ? 由于是非接觸式，因此無需擔心損壞測試對象。 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 能夠測量重物 

 ? 底座采用石質(zhì)平臺，旋轉(zhuǎn)軸采用氣動主軸，實現(xiàn)驚人的表面跳動精度。 

 ? 照片中的設(shè)備外徑為800Φ，可承載重達200kg的工件。 

 ? 我們將根據(jù)工件制作測量臺等（請咨詢我們）。 

  ? 測量面積：2英寸至12英寸以上 

  ? 測量方式：旋轉(zhuǎn)掃描法 

  ? 可用的激光位移計：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率：~0.001μm（最大） 

規(guī)格10mm±1mm三角測距式半導(dǎo)體激光器650nm可見光CLAS10.3mW0.01μm（注1）±45mmX=380mm（MAX）Y=400 mm（MAX）2μm/STEP100mm/SEC10μm以內(nèi)±2μm以內(nèi)5μm以內(nèi)360°0.0036/STEP10rpm（測定速度）φ600（可搭載工件φ800）200Kg10μm以內(nèi)5μm以下（φ600圓周上）PC/AT兼容機5相微步進驅(qū)動器USB1.1/2.0約W433 H140×D255 7Kg以下5000數(shù)據(jù)/轉(zhuǎn)速20（MAX）PC軟件平面度測量專用程序