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日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式

日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式 TFL3100

使用激光位移傳感器,固定工件,
在移動傳感器的同時,以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量,并使用專用軟件計算平面度。
待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產品或透明玻璃。
這是自動判定作品合格與否的檢查機。

  • 產品型號:TFL3100
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-10
  • 訪  問  量:197
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聯系電話:13823182047

詳細介紹

日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式 TFL3100 特點介紹


使用激光位移傳感器,固定工件,

在移動傳感器的同時,以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量,并使用專用軟件計算平面度。

待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產品或透明玻璃。

這是自動判定作品合格與否的檢查機。

? 以低成本實現高精度測量 

 ? 高速XY平臺,數據采集速度快 

 ? 由于是非接觸式,因此無需擔心損壞測試對象。 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 可以測量從晶圓到研磨金屬產品或透明玻璃的任何物體 

 ? 采用石質平臺作為底座,可實現長期穩(wěn)定的測量。 

 ? 多種測量模式快速測量 

 ? 通過登記工件的判斷基準值,可以自動判斷OK或NG。 

 ? 我們將根據工件制作測量臺等(請咨詢我們)。 

  ? 測量面積:200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ? 測量方式:XY掃描法 

  ? 可用的激光位移計:三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率:~0.001μm(最大) 


日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式 TFL3100 規(guī)格參數


尺寸20mm±3mm三角測距式激光器半導體激光波長650nm可見光CLAS3R輸出4.8mW0.02μm(注1)±20mmX=320mm(M)AX)Y=320mm(MAX)1μm/0.1mm/1.0mm/STEP(可選)30mm/SEC30μm以內±1μm以內5μm以內約W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容機5相微步進驅動器USB1.1/2.0約W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7(32位)的外形、重量XY自動載物臺部項

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