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    日本nasgiken金屬物質(zhì)自動(dòng)回收設(shè)備NAC系列 NAC-302 ●硅片的處理過程是自動(dòng)化的,從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。 ●疏水性和親水性晶圓均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圓)。 ●當(dāng)需要同時(shí)對(duì)大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時(shí),這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。 ●具有對(duì)回收的藥液進(jìn)行計(jì)量和稀釋的功能,防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。

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