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山田光學(xué)YAMADA高輝度鹵素光源裝置表面檢查燈YP-150I/YP-250I用途有哪些

更新時(shí)間:2024-08-30      瀏覽次數(shù):411

山田光學(xué)YAMADA高輝度鹵素光源裝置表面檢查燈YP-150I/YP-250I用途有哪些


這是一種光源裝置,通過使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux(30Φ)或更高的照明,可以觀察到細(xì)微的劃痕。

日本YAMADA山田半導(dǎo)體檢查燈產(chǎn)品特點(diǎn):

1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素?zé)?,色溫高,照度不均小,光線極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級切換機(jī)構(gòu),一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍:30mmφ

YP-250I 照度范圍:60mmφ


高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

高強(qiáng)度鹵素光源裝置

超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測

最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板

樣品表面的照度可超過 400,000 Lx。

另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/span>

光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。

[特點(diǎn)]

■ 光源采用鹵素?zé)?/span>

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請用于超精密平面檢測!

高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。

此外,本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī),有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。

【特點(diǎn)】

■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面

■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式

■ 使用冷鏡,熱影響是傳統(tǒng)的1/3

■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以

■ 8inch 兼容

[照明范圍]

■ YP-150I… 照度范圍 φ30

■ YP-250I… 照度范圍 φ60


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