PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類技術(shù)文章/ Technical Articles
山田光學(xué)YAMADA高輝度鹵素光源裝置表面檢查燈YP-150I/YP-250I用途有哪些
這是一種光源裝置,通過使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux(30Φ)或更高的照明,可以觀察到細(xì)微的劃痕。
日本YAMADA山田半導(dǎo)體檢查燈產(chǎn)品特點(diǎn):
1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。
2、光源采用鹵素?zé)?,色溫高,照度不均小,光線極其穩(wěn)定銳利。
3、采用冷鏡,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。
4、兩級切換機(jī)構(gòu),一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。
YP-150I 照度范圍:30mmφ
YP-250I 照度范圍:60mmφ
高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
高強(qiáng)度鹵素光源裝置
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測
最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板
樣品表面的照度可超過 400,000 Lx。
另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/span>
光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。
姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。
[特點(diǎn)]
■ 光源采用鹵素?zé)?/span>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。
采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。
此外,本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī),有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。
【特點(diǎn)】
■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面
■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式
■ 使用冷鏡,熱影響是傳統(tǒng)的1/3
■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以
■ 8inch 兼容
[照明范圍]
■ YP-150I… 照度范圍 φ30
■ YP-250I… 照度范圍 φ60
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
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